文献类型：期刊文献

中文题名：超微粒氧化锌、锡复合薄膜的断面研究

英文题名：Studies of the Interface of ZnO/SnO_2,SnO_2/ZnO UPF

作者：王声乐[1];王巍[1];潘孝仁[1];庞世瑾[1]

机构：[1]淮北煤炭师范学院,华东理工大学,中国科学院北京真空物理实验室

年份：1996

卷号：9

期号：3

起止页码：18

中文期刊名：真空电子技术

外文期刊名：Vacuum Electronics

收录：CSTPCD;;北大核心:【北大核心1992】；

语种：中文

中文关键词：超微粒子;柱状结构;扩散;界面;掺杂;氧化锌

外文关键词：Ultrafine particle(UFP), Columnar,Diffusion,Interface,Doping

摘要：本文用扫描电于己微镜（ＳＥＭ）观察了ＺｎＯ／ＳｎＯ２，ＳｎＯ２／ＺｎＯＵＰＦ的断面形貌，所研究的薄膜系采用直流气体放电活化反应蒸发沉积法制备。结果表明：用直流气体放电活化反应蒸发沉积法，通过二次蒸镀的方式所制备的双层超微粒子薄膜（ＵＰＦ），膜层间具有明巳的扩散现象，由扩散所形成过渡层的形态与复合的方式有关。同时，对其气敏选择性机理进行了一定的探讨。
The interface of Zno/Sno2, SnO2/ZnO UPF (Ultrafine Particle Film) prepared by d.c.gas discharge activating reaction evaporation technique was studied by SEM method.The results show that the ultrafine particle (UFP) bilayer thin films have an obvious deffusion and clear interface. The thickness of the interface may be changed by controlling its technical conditions .Besides,its mechanism of gas--sensing selectivity is also discussed.