文献类型：专利

中文题名：超声波悬浮传输装置

作者：李锦[1];张亭[1];刘长军[1];章文俊[1];

机构：[1]华东理工大学;

专利类型：发明专利

申请号：CN201410367768.2

申请日：20140730

申请人地址：200237 上海市徐汇区梅陇路130号

公开日：20141008

代理人：王洁

代理机构：31002 上海智信专利代理有限公司

语种：中文

中文关键词：超声波换能器;支架;发送端;接收端;连接;悬浮;传输轨道;传输装置;固定轨道;超声波;硅片;机电转换效率;能量利用率;传输材料;传输定位;颗粒污染;光伏;划痕;变形;产业

摘要：本发明涉及一种超声波悬浮传输装置，其中包括发送端超声波换能器、接收端超声波换能器、传输轨道、第一支架、第二支架及固定轨道；传输轨道的两端分别与发送端超声波换能器及接收端超声波换能器相连接，固定轨道的两端分别与第一支架及第二支架相连接，第一支架与发送端超声波换能器相连接，第二支架与接收端超声波换能器相连接。采用本发明超声波悬浮传输装置，有效地解决了光伏产业制造中机械式传输对硅片造成的变形、表面划痕、颗粒污染和降低硅片精度的诸多问题，实现尺寸较大、厚度较薄的物体的稳定悬浮传输，且不受传输材料特性的限制，实现了较高的能量利用率和机电转换效率，装置简单，易于操作，传输定位精确稳定，应用范围广泛。