文献类型：期刊文献

中文题名：微滤膜在超净高纯电子化学试剂生产中的应用进展

作者：施云海[1];许振良[1]

机构：[1]华东理工大学化学工程研究所,上海200237

年份：2002

卷号：43

期号：S1

起止页码：187

中文期刊名：化学世界

外文期刊名：Chemical World

收录：北大核心:【北大核心2000】；CSCD:【CSCD2011_2012】；

语种：中文

中文关键词：微滤;膜分离;电子工业;高纯化学试剂

摘要：大规模集成电路对超净高纯试剂的纯度和洁净度上具有特殊的要求 ,微滤膜分离由于对细菌和微细粒子具有良好的截留效应 ,与蒸馏、吸附等其它分离手段相结合 ,可使得纯水、双氧水和HF等电子清洗剂 ,金属离子等杂质含量降至几十个 1× 1 0 -9以下 ,甚至达到 1× 1 0 -12 水平。