文献类型：期刊文献

中文题名：缝式喷嘴结构参数对出口流场分布的影响

英文题名：Effect of Structural Parameters on Outlet Flow Field of Slot Nozzle

作者：相颖杰[1];高超[1];苏芳臣[1];陈建钧[1]

机构：[1]华东理工大学机械与动力工程学院,上海200237

年份：2014

卷号：40

期号：6

起止页码：785

中文期刊名：华东理工大学学报（自然科学版）

外文期刊名：Journal of East China University of Science and Technology

收录：CSTPCD;;Scopus;北大核心:【北大核心2011】；CSCD:【CSCD2013_2014】；

语种：中文

中文关键词：缝式喷嘴;流场仿真;试验设计方法

外文关键词：slot nozzle; flow field simulation; DOE method

摘要：提出了一种用于化学气相沉积法制备6.5%硅钢(wSi=6.5%)的缝式喷嘴结构。利用数值仿真方法模拟了不同结构参数下喷嘴出口处SiCl4气体速度分布情况。基于试验设计方法分析了结构参数对喷嘴出口处速度场分布的影响,以及各影响因素的重要程度。通过软件进行优化分析得到了最优的结构参数。通过实验对仿真结果进行了验证。
A new type of slot nozzle is proposed which is used to prepare the 6.5%Si steel by chemical vapor deposition method. The velocity distribution of the SICl4 on the outlet under different structural parameters is studied by numerical simulation method. The influence of the structural parameters on the velocity distribution on the outlet was analyzed based on the design of experiment method. The optimal structural parameters were obtained through optimization analysis, and the simulation results were verified.