文献类型：期刊文献

中文题名：化学气相淀积反应器的化学工程分析和数学模型

作者：朱开宏[1]

机构：[1]华东化工学院

年份：1987

卷号：6

期号：1

起止页码：16

中文期刊名：化工进展

外文期刊名：Chemical Industry and Engineering Progress

收录：CSTPCD;;Scopus

语种：中文

中文关键词：化学气相淀积;化学反应;淀积速率;微电子器件;数学模型;试验模型;化学工程

摘要：化学气相淀积是在微电子、光纤通讯、超导等新技术领域里广泛用于制备各种具有特殊性能的薄膜的工艺过程。该过程的机理和气固相催化反应十分相似。本文以该过程在微电子器件生产中的应用为背景,概述了化学气相淀积的优点,分析了化学气相淀积反应器中传递过程和化学反应的相互关系,介绍了运用数学模型方法研究化学气相淀积反应器的进展。