文献类型：专利

中文题名：双模压力传感单元、双模压力传感阵列与双模压力传感器

作者：贾施儒[1];陈健华[1];刘个[1];陈芬[1];顾震[1];王慧锋[1];

机构：[1]华东理工大学;

专利类型：实用新型

申请号：CN202322371845.9

申请日：20230831

申请人地址：200237 上海市徐汇区梅陇路130号

公开日：20240405

代理人：罗朗;林嵩

代理机构：上海弼兴律师事务所

语种：中文

中文关键词：双模;压力传感单元;压电材料层;压阻材料;本实用新型;中间电极层;第二电极;第一电极;压电式压力传感器;压阻式压力传感器;压力传感器;变化趋势;动态压力;复杂应用;静态压力;压力传感;依次层叠;检测;集合;场景;响应

摘要：本实用新型提供了一种双模压力传感单元、双模压力传感阵列与双模压力传感器，该双模压力传感单元由上至下包括依次层叠设置的第一电极层、压阻材料层、中间电极层、压电材料层和第二电极层；压阻材料层和压电材料层的表面积大于第一电极层、中间电极层和第二电极层的表面积。本实用新型中的双模压力传感单元同时包括压电材料层和压阻材料层，能基于双重原理工作，集合了压电式压力传感器和压阻式压力传感器的优点，响应速度快，既适合检测静态压力值的大小，又适合检测动态压力的变化趋势，能满足复杂应用场景的需要。