文献类型：会议论文

中文题名：ZnO低压压敏薄膜制备与研究

作者：陆慧[1];滕月莉[1];陆元成[1];潘孝任[1];

机构：[1]华东理工大学物理系;

会议论文集：TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集

会议日期：20030900

会议地点：中国浙江宁波

主办单位：中国真空学会薄膜专业委员会;宁波市科技局;宁波市科技园;浙江大学;清华大学;北京北仪创新真空技术有限责任公司

语种：中文

中文关键词：ZnO;低压压敏电阻;非线性系数

摘要：ZnO低压压敏电阻是一种新型多功能性陶瓷材料,具有非线性系数高,响应时间快,漏电流小,通流容量大等优点,广泛应用于电子设备、电力系统等领域,主要作为半导体器件的过压保护。随着电子产品的微型化、集成化,工作电压愈来愈低,对低压压敏电阻的需求量亦愈来愈大。研制开发ZnO低压压敏薄膜具有十分广阔的市场前景。