文献类型：期刊文献

中文题名：基于体素的快速MEMS工艺模拟

英文题名：FAST MEMS PROCESS SIMULATION BASED ON VOXEL MODEL

作者：李建华[1];罗勇军[1]

机构：[1]华东理工大学计算机科学与工程系,上海200237

年份：2009

卷号：26

期号：5

起止页码：11

中文期刊名：计算机应用与软件

外文期刊名：Computer Applications and Software

收录：CSTPCD;;CSCD:【CSCD_E2011_2012】；

基金：国家自然科学基金(60703026)

语种：中文

中文关键词：CAD;微机电系统;体素;工艺模拟

外文关键词：CAD Micro-electro-mechanism system （MEMS） Voxel representation Process simulation

摘要：为了快速生成MEMS模型和实现加工的过程模拟,给出一种基于体素的快速MEMS工艺模拟方法。该方法利用MEMS材料属性和体素表示的特性,利用布尔运算快速生成所需要的模拟过程和最终结果。最后给出了具体实现,并给出了测试实例。
In order to quickly generate three-dimensional model of MEMS and to realize process step simulation, a voxel-based fast MEMS process simulation method is given. In this method, the characters of material attribute of MEMS and voxel model representation are utilized to fast generate the required process step simulating and the final result with the Boolean operations. Finally, the implementation of this method and some test instances are given.