文献类型：期刊文献

中文题名：含裂纹压电驱动的柔顺MEMS机构刚度特性分析

英文题名：Stiffness Analysis of Piezoelectric Actuator Driven Compliant Mechanism with a Crack

作者：王学军[1];刘长利[1];章文俊[1,2];刘长军[1]

机构：[1]华东理工大学机械与动力工程学院,上海200237;[2]萨斯喀彻温大学机械工程系

年份：2013

卷号：33

期号：S2

起止页码：64

中文期刊名：振动．测试与诊断

外文期刊名：Journal of Vibration,Measurement & Diagnosis

收录：CSTPCD;;EI(收录号：20141517567340);Scopus;北大核心:【北大核心2011】；CSCD:【CSCD_E2013_2014】；

基金：国家自然科学基金资助项目(51175179;50805046);中央高校基本科研业务经费资助项目(WG12B014)

语种：中文

中文关键词：柔顺机构;压电驱动器;裂纹;位移;系统刚度;RRR机构

外文关键词：compliant mechanism,piezoelectric actuator,crack,displacement,global stiffness,RRR mechanism

摘要：研究了一种由压电陶瓷驱动器(PZT)驱动的柔顺微机电系统(micro electro-mechanical system,简称MEMS),具有三自由度并联微位移工作台(RRR机构)。通过有限单元法建立了柔顺机构的平面模型,在应力集中处引入裂纹,分析裂纹对机构输出参数位移和系统刚度的影响。通过比较无裂纹和有裂纹情况下的结果,较为直观地给出了裂纹对RRR机构输出参数的影响程度。
This paper presents the global stiffness analysis of piezoelectric actuator(PZT)driven compliant MEMS mechanism(RRR mechanism)with a crack.The crack is modeled through finite element method in the place where stress is intensified,and the corresponding global stiffness of RRR mechanism with a crack is obtained.The influence of crack on the RRR mechanism global stiffness with respect to the crack is investigated by comparison to the configuration when there is no crack.