文献类型：期刊文献

中文题名：由三个压电陶瓷堆组成的干涉仪移相器的校正与标定

英文题名：Self-Calibrating for Phase-Shifting Adapter Consisting of Three PZT

作者：朱煜[1];陈进榜[2];朱日宏[2];高志山[2]

机构：[1]华东理工大学信息学院信息工程系,上海200237;[2]南京理工大学电光学院,南京210094

年份：2001

卷号：21

期号：4

起止页码：468

中文期刊名：光学学报

外文期刊名：Acta Optica Sinica

收录：CSTPCD;;Scopus;北大核心:【北大核心2000】；CSCD:【CSCD2011_2012】；

语种：中文

中文关键词：干涉仪;移相器;压电陶瓷堆;标定;非线性校正;平行性校正;傅里叶变换

外文关键词：Algorithms;Calibration;Ceramic materials;Fast Fourier transforms;Phase shift;Piezoelectric materials

摘要：根据傅里叶变换原理 ,提出了一种对由三个压电陶瓷堆 (PZT)组成的干涉仪移相器进行非线性及平行性校正与标定的方法。在对各个压电陶瓷堆进行非线性校正的基础上 ,利用干涉图像自动分析系统 ,综合分析各个压电陶瓷堆之间的牵制作用 ,从而得到对整体干涉仪移相器平行性校正的补偿依据。组建了一套卧式数字平面干涉仪 ,在干涉仪移相器承重 6kg的情况下进行实验 ,非线性误差由 12 %校正至 0 3 %。由于干涉仪相移器承重而引起的移相过程中的条纹旋转降至 2° ,条纹间距变化小于 2 %。
A self-calibrating method was proposed to calibrate the nonlinear of phase shifting adapter (PSA) consisting of three piezoelectric ceramics. Fast Fourier transform and linear polynomial fitting algorithms were used to rectify the nonlinearity of PSA, and fringe processing method was used to decline the rotation to 1° and the change of fringe distance to 2%. Experiments give testing results and show the priority of the calibrating method.