成果/Result
- 一种非接触式光学微腔液压测量系统被引量：1收藏
- 作者：魏鹤鸣 侯林嵩 丁武成 殷瑞雪 任冬妮
- 机构：上海大学特种光纤与光接入网重点实验室;华东理工大学机械与动力工程学院;明澈生物科技(苏州)有限公司
- 来源：《电子测量技术》 2024
- 关键词：微腔压力传感 双光子三维打印技术 非接触式光学传感 液体压强测量系统
- 摘要：为满足在狭小腔室中测量液体压强的需求,设计了一种非接触式光学法布里珀罗微腔液压测量系统,其中,光学微腔采用双光子三维打印技术制备,膜结构尺寸仅为350μm,设计的膜厚分别为4μm和6μm。系统主要采用嵌入式设计与衍射光栅...
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