成果/Result
- 超微粒氧化锌、锡复合薄膜的断面研究被引量：1收藏
- 作者：王声乐 王巍 潘孝仁 庞世瑾
- 机构：淮北煤炭师范学院
- 来源：《真空电子技术》 1996
- 关键词：超微粒子 柱状结构 扩散 界面 掺杂 氧化锌
- 摘要：本文用扫描电于己微镜（ＳＥＭ）观察了ＺｎＯ／ＳｎＯ２，ＳｎＯ２／ＺｎＯＵＰＦ的断面形貌，所研究的薄膜系采用直流气体放电活化反应蒸发沉积法制备。结果表明：用直流气体放电活化反应蒸发沉积法，通过二次蒸镀的方式所制备的双层超微...
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